7月27日，美国科技媒体《The Information》援引知情人士报道称，一家未具名、具有国资背景的上海公司，已经开始小批量生产国产浸没式DUV光刻机，并计划年内向中芯国际、华虹半导体和长鑫存储交付约5台，2027年产量或增至20台。
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7月27日，美国科技媒体《The Information》援引知情人士报道称，一家未具名、具有国资背景的上海公司，已经开始小批量生产国产浸没式DUV光刻机，并计划年内向中芯国际、华虹半导体和长鑫存储交付约5台，2027年产量或增至20台。
报道没有公开制造商名称，但称项目从多家中国企业抽调研发人员，其中包括上海宇量昇。
设备多数部件已可在中国采购，但仍依赖部分日本关键零件，性能、可靠性及客户验收情况也尚未公开，距离成熟大规模量产仍有明显差距。
消息传出后，荷兰上市的阿斯麦和BE半导体盘中分别一度下跌约8%和8.7%，并触发交易所短暂停牌。
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