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操,原来EUV真正的突破,是ASML遭遇研发连年延期,客户失去耐心,CEO在公司最绝望的时刻,走进教堂,面对三颗蜡烛——代表ASML三大客户祈祷时,所得到的灵感和最开始用激光脉冲照射tin液滴一次发光的设计不同;为何不照射两次?第一次让液滴摊开成薄饼状,第二次才是真正的main laser shot,让tin
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