中国造不出光刻机？国产DUV光刻机代替光源有科益虹源的光刻机光源系统，它是世界上第三家高能准分子激光器研发制造企业，已推出光刻用248nm准分子激光器、光刻用干式193nm准分子激光器、光刻用浸没式193nm准分子激光器，并完成了…

发布时间: 2022-12-05 06:39:12

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中国造不出光刻机？国产DUV光刻机代替光源有科益虹源的光刻机光源系统，它是世界上第三家高能准分子激光器研发制造企业，已推出光刻用248nm准分子激光器、光刻用干式193nm准分子激光器、光刻用浸没式193nm准分子激光器，并完成了…
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