【从专利看日本半导体光刻技术有多强】在半导体光刻方面，东京电子和SCREEN两家日企掌握涂布显影设备的全球超9成份额。从光刻的前后处理领域的专利来看，日本国籍的申请者稳定在4成左右。台积电也在崛起………

发布时间: 2021-09-28 09:36:21

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【从专利看日本半导体光刻技术有多强】在半导体光刻方面，东京电子和SCREEN两家日企掌握涂布显影设备的全球超9成份额。从光刻的前后处理领域的专利来看，日本国籍的申请者稳定在4成左右。台积电也在崛起………
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